Вакуумные камеры и конструктивные элементы: вакуумная камера, рама станка, основание, фланцы и т.д.
Система управления газами и жидкостями: распределительный блок, корпус клапана, форсунки, соединительные детали трубопроводов и т.д.
Модуль охлаждения и контроля температуры: охлаждающие пластины, теплообменники и т.д.
Точечные механизмы движения и передачи: руки для перемещения пластин, концевые исполнительные устройства манипуляторов, линейные направляющие и т.д.
Крепления и основания для пластин: диски для захвата пластин, кольца опоры, позиционеры и т.д.
Электрическая изоляция и конструктивные элементы: изоляционные оболочки, разъёмы, корпус оборудования, окна для наблюдения и т.д.
Коррозионностойкие детали для жидкостей: внутренние покрытия ям для влажного травления, уплотнители, компоненты насосов и клапанов и т.д.
Высоковязкие передающие элементы: шестерни, направляющие, скользящие блоки, подшипники и т.д.
